低温等离子体状态信息获取的几种基本的诊断方法

所谓低温等离子体的状态就是在等离子体中原子、 分子、电子、离子的状态。而这些状态是通过不同的等离子体诊断方法而的，这些状态是与不同类型的等离子体装置，放电条件，气压条件等有关。等离子体是低温等离子净化器中的主要配件，了解低温等离子体状态就成为   的工序，我公司对于获取低温等离子体的诊断方法如下：

1.光谱诊断。光谱诊断主要是发射光谱。发射光谱法通过对等离体本身所发出的光进行分光分析，来测定等离子体中存在的分子、原子的激发和电状态。根据测得的发光强度可确定活性粒子的浓度并计算出电子温度等。发射光谱需要分子获得较高的能量。

2.质谱法。质谱法可对等离子体的组成粒子，特别是离子进行直接的测定。一般是在线测量，即通过差动排气法将等防体的组成粒子，特别是离子进行直接的测定，以鉴定等离子体中的粒子种类。如果再与能量分析仪组合，则可测量这些粒 子的能量。

3.静电探针。这种方法是由Longmuir发明的探测等离子体特性的一种方法。由于简单且用途多，一直沿用至今。对直流辉光放电，等离子体的电位有确定值，可用单探针法，对高频放电，微波放电等，则用单探针结合补偿探针或双探针法。通过测量探针特性，即测量液入探针的电流和加到探针上的偏压之间的关系，来推算同等离子体中的电子温度，离子密度及等离体电势。

4.其它。一些新的方法如电子顺磁共振（EPR），激光诱导荧光法(LIF)，来测等离子体中原子、分子的电子态，微波干涉测量电子密度等。

通常要采用多种方法来互相验证，才能确定等离子体状态。

低温等离子体的状态不同所采用的废气净化方法就不同，效果也自然不同，针对废气处理设备中采用等离子体的工程进行研究，小具成效，相关废气处理工程可联系我们。